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大面积微纳结构的制备及其光学特性

 

大面积微纳结构的制备及其光学特性
 
     论文目录
 
摘要 第5-7页
Abstract 第7-9页
第1章 绪论 第13-37页
    1.1 表面等离激元(SPPs)的性质 第13-19页
        1.1.1 SPPs的基本概念 第13-16页
        1.1.2 SPPs的特征尺寸 第16-17页
        1.1.3 SPPs的激发方式 第17-19页
    1.2 反射式金属光栅表面等离激元共振(SPR)传感简介 第19-23页
        1.2.1 SPR波矢匹配 第20页
        1.2.2 SPR的严格耦合波分析 第20-22页
        1.2.3 SPR传感应用 第22-23页
    1.3 表面等离激元超透射(EOT)简介 第23-28页
        1.3.1 EOT研究进展 第23-26页
        1.3.2 EOT应用 第26-28页
    1.4 透明导电膜(TCF)简介 第28-31页
        1.4.1 TCF研究进展 第29-30页
        1.4.2 TCF的应用 第30-31页
    1.5 本论文主要研究内容 第31-33页
    参考文献 第33-37页
第2章 大面积新型微纳结构的制备方法 第37-57页
    2.1 AR-P3120光刻胶的性质 第37-40页
        2.1.1 基于AR-P3120光刻胶制备微纳结构的过程 第37-39页
        2.1.2 影响光刻胶匀胶厚度的因素 第39页
        2.1.3 影响光刻结构深度的因素 第39-40页
    2.2 双光束干涉制备一维介质光栅结构 第40-42页
        2.2.1 双光束干涉原理 第40-41页
        2.2.2 光栅的形貌 第41-42页
    2.3 基于六棱台制备二维点阵结构 第42-45页
    2.4 基于PS小球自组装制备二维阵列结构 第45-52页
        2.4.1 气液法自组装PS小球的步骤 第45-46页
        2.4.2 以PS小球为掩模版制备二维孔洞阵列结构 第46-48页
        2.4.3 以PS小球为掩模版制备二维纳米帐篷阵列结构 第48-50页
        2.4.4 以PS小球为掩模版制备二维纳米火山口阵列结构 第50-52页
    2.5 本章小结 第52-54页
    参考文献 第54-57页
第3章 矩形银光栅高灵敏传感特性的实验论证 第57-81页
    3.1 金属光栅表面SPR角度调制传感原理 第58-61页
    3.2 制备矩形银光栅 第61-67页
        3.2.1 根据RCWA模拟设计理想矩形银光栅的结构参数 第61-65页
        3.2.2 矩形银光栅表面的局域电磁场强度和能流分布 第65页
        3.2.3 矩形银光栅的制备过程 第65-67页
    3.3 矩形银光栅对溶液折射率的SPR传感实验 第67-74页
        3.3.1 矩形银光栅的SPR角度调制反射率曲线测量 第67-71页
        3.3.2 矩形银光栅的SPR角度调制灵敏度分析 第71-74页
    3.4 与棱镜的SPR角度调制灵敏度对比 第74-76页
    3.5 本章小结 第76-78页
    参考文献 第78-81页
第4章 银膜覆盖介质纳米帐篷阵列(HDNAs)的透明导电性能 第81-107页
    4.1 连续银膜覆盖HDNAs的制备及表征 第82-85页
        4.1.1 连续银膜覆盖HDNAs的制备过程 第82-83页
        4.1.2 连续银膜覆盖HDNAs的形貌表征 第83-85页
    4.2 连续银膜覆盖HDNAs的透明导电性 第85-93页
        4.2.1 连续银膜覆盖HDNAs在可见光波段的透过率 第85-89页
        4.2.2 连续银膜覆盖HDNAs的表面电阻 第89-91页
        4.2.3 透明导电特性最佳的两种连续银膜覆盖HDNAs结构 第91-93页
    4.3 FDTD模拟结构透过率并分析共振峰模式 第93-97页
        4.3.1 FDTD模拟结构透过率 第93-95页
        4.3.2 FDTD模拟共振峰模式 第95-96页
        4.3.3 FDTD模拟优化结构参数下的透过率 第96-97页
    4.4 影响连续银膜覆盖HDNAs透射谱的因素 第97-99页
        4.4.1 入射角度对透射谱的影响 第97-98页
        4.4.2 PS小球直径对透射谱的影响 第98-99页
    4.5 镀膜方法对透明导电性的影响 第99-102页
    4.6 本章小结 第102-104页
    参考文献 第104-107页
第5章 总结与展望 第107-112页
    5.1 总结 第107-108页
    5.2 展望 第108-110页
    参考文献 第110-112页
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 第112-113页
致谢 第113-114页
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